離子束通過薄阻隔層在硅上直接印刷納米級硅化物結構

　

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離子束通過薄阻隔層在硅上直接印刷納米級硅化物結構的英文翻譯

基本釋義

Direct patterning of nanometer-scale silicide structures on silicon by ion-beam implantation through a thin barrier layer

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