空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化

　

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空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化的英文翻译

基本释义

Plasma source ion implantation near the end of a cylindrical bore using an auxiliary electrode for finite rise-time voltage pulses

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