微机电系统中基于模态展开和边界元法的静电-结构耦合高效分析方法

　

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微机电系统中基于模态展开和边界元法的静电-结构耦合高效分析方法的英文翻译

基本释义

EFFICIENT APPROACH FOR COUPLED ELECTROSTATIC AND STRUCTURAL ANALYSIS OF MEMS VIA BOUNDARY ELEMENT METHOD AND MODAL EXPANSION

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