光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量

　

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光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量的英文翻译

基本释义

Young's Moduli Evaluation of Micro-machined Silicon Membranes Using Optically Excited Resonance and Optical Fiber Sensing Techniques

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