用(110)硅面各向異性腐蝕的凸角結構製作微米針管
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用(110)硅面各向異性腐蝕的凸角結構製作微米針管的英文翻譯
基本釋義
A Novel Fabrication of in-Plane Silicon Microneedles Using Structure of Convex Corner in (110) Si-Wafer
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