掩模缺陷檢查系統靈敏度分析所用的特製缺陷掩模和評估測量方法準則

　

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掩模缺陷檢查系統靈敏度分析所用的特製缺陷掩模和評估測量方法準則的英文翻譯

基本釋義

Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems

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