OSTRIKOV K N,DENYSENKO I B,TSAKADZE E L,et al.Characteristics of electron cyclotron resonance plasmas for large area ion source application[J].Journ Vac Sci Technol,2000,A20:2185.
英
美
丁振峰;霍伟刚;王友年.;射频电感性耦合等离子体调谐基片自偏压特性[J]
单词 OSTRIKOV K N,DENYSENKO I B,TSAKADZE E L,et al.Characteristics of electron cyclotron resonance plasmas for large area ion source application[J].Journ Vac Sci Technol,2000,A20:2185. 的词典定义。@海词词典-最好的学习型词典
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