Excimer and diode-pumped solid-state (DPSS) laser are important UV laser sources. Materials with high absorptivity of UV laser can be processed by shoot pulse-width with great precision and very little thermal effect.

• 目前国内外都在大力发展紫外激光打标，如准分子激光和二极管泵浦紫外激光(DPSS)打标，由于某些材料(特别是金属材料)对紫外光的吸收大，并且由于紫外激光具有很短的脉冲宽度，激光对材料的作用只发生在材料的最表层，因此紫外激光被称为“冷激光源”。 这样就弥补了以上两种红外激光器的缺陷。