By use of this technique, we fabricated scaffold-like micro-well structures with sub-micron resolution and high aspect ratio by both raster scanning and pinpoint scanning methods.
英
美
与其它微加工技术比较,使用此方法除可制作复杂的三维微结构外,同时它又具有免用光罩、制作步骤简单、真正三维的立体结构及高解析度之优点。
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