磁控溅射离子镀基体偏压对类石墨碳膜组织形貌及性能的影响
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磁控溅射离子镀基体偏压对类石墨碳膜组织形貌及性能的影响的英文翻译
基本释义
Effect of bias voltage on morphology and performance of magnetron sputter ion plating graphite-like carbon coatings
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