磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究

　

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磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究的英文翻译

基本释义

Preparation of Ti Alloy Films Containing He by Magnetron Sputtering Method and Thermodesorption Research for He in the Films

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