驅動電流密度對低壓容性射頻鞘電勢及離子動能的影響

　

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驅動電流密度對低壓容性射頻鞘電勢及離子動能的影響的英文翻譯

基本釋義

Effect of Driving Current Density on Low-Pressure Capacitive Radio Frequency Plasma Sheath Potential Difference and Ion Kinetic Energy

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