銅團簇束在硅上碰撞沉積的薄膜形貌和方塊電阻

　

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銅團簇束在硅上碰撞沉積的薄膜形貌和方塊電阻的英文翻譯

基本釋義

The morphology and rectangular resistance of films formation by Cu cluster beam collided with and deposited onto Si substrate

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