重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法

　

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重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法的英文翻譯

基本釋義

Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

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