表面波等離子體製備碳膜的膜厚分佈及工藝優化

　

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表面波等離子體製備碳膜的膜厚分佈及工藝優化的英文翻譯

基本釋義

Parameters Optimization and Thickness Distribution of Hydrogen-free Carbon Films Prepared by Newly Developed Surface-wave-sustained Plasma

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