脈衝偏壓下電弧離子鍍等離子體負載的等效電路模型及其定量表徵
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脈衝偏壓下電弧離子鍍等離子體負載的等效電路模型及其定量表徵的英文翻譯
基本釋義
Equivalent Circuit and Quantitative Characterization of Plasma Load in Pulsed-Bias Arc Ion Plating
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