脈衝偏壓上升沿特性對等離子體浸沒離子注入鞘層擴展動力學的影響
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脈衝偏壓上升沿特性對等離子體浸沒離子注入鞘層擴展動力學的影響的英文翻譯
基本釋義
Effect of rise-time patterns on dynamics of sheath expansion during plasma immersion ion implantation
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