碰撞效應對入射到射頻偏壓電極上離子能量分佈和角度分佈的影響

　
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碰撞效應對入射到射頻偏壓電極上離子能量分佈和角度分佈的影響的英文翻譯

基本釋義

碰撞效應對入射到射頻偏壓電極上離子能量分佈和角度分佈的影響的相關資料：

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碰 碰撞環境
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