微波電子迴旋共振法沉積的非晶碳化硅薄膜結構和性能研究

　

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微波電子迴旋共振法沉積的非晶碳化硅薄膜結構和性能研究的英文翻譯

基本釋義

Structural evolution and properties in amorphous silicon-carbon thin films deposited by micro-wave electron cyclotron resonance plasma

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