光激光拾諧振法確定硅微機械薄膜的楊氏彈性模量
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光激光拾諧振法確定硅微機械薄膜的楊氏彈性模量的英文翻譯
基本釋義
Young's Moduli Evaluation of Micro-machined Silicon Membranes Using Optically Excited Resonance and Optical Fiber Sensing Techniques
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