These results are agreement with the results of infrared absorption(IR) and Rutherford backscattering (RBS) analysis.

　
英 美
  • 表面硅-埋层的界面和埋层-体硅的界面的化学结构无明显差异.；这些结果与红外吸收和离子背散射谱的分析结果相一致
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