Therefore internal scholar presented many kinds of lapping modes, and among these modes, rotation angle active control mode owns better lapping uniformity but it is hard to apply to the science for the complexity of structure and control.

• 为此，国内外学者提出了多种研磨方式，在这些研磨方式中，自转角主动控制研磨方式具有较好的研磨均匀性，然而因其结构和控制复杂，难以应用。 本实验室提出了双自转研磨盘研磨方式，它继承了自转角主动控制研磨方式良好的研磨均匀性优点，并将其机构进行简化。