The effects of the nature, phase transition principle and several making technologies of the VO2 film on the film phase transition properies are presented mainly and its application directions given.
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本文着重介绍二氧化钒(VO2)薄膜的性质、相变原理、若干制备工艺对VO2薄膜相交特性的影响并给出VO2薄膜的应用方向。
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