The characteristics and state-of-the-art of the microsensors based on microelectromechanical system(MEMS) technologies are introduced.

• 介绍了基于微机电系统(MEMS)技术的微型传感器的特点和发展概况,以及应用在汽车发动机控制、安全系统等方面的微型传感器的原理、特点和主要技术参数。