The auxiliary electrode radius in a vacant circular pipe is crucial to the ion dose in plasma source ion implantation(PSII),because it affects the resultant surface structure and properties.
英
美
- 在带有共轴零电位附加电极的空心圆管等离子体源离子注入过程中；附加电极半径的大小直接影响到空心圆管端点内表面、端点表面和外表面的离子注入剂量；进而影响空心圆管表面的结构和性质；对空心圆管的不同部位这种影响是不同的.
