The ELO (Epitaxial Lateral Overgrowth) process based on the growth of Si film over aSiO_2 mask using system of SiCl_4/H_2/Br_2 has been in vestigated.

　
英 美
  • 本文研究了在常压外延系统中；利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.
以上内容独家创作，受著作权保护，侵权必究

今日热词
相关词典网站：

牛津高阶第八版

美国韦氏词典

Dictionary.com

Free Dictionary

维基百科 (自由的百科全书)

目录 附录 查词历史