On the basis of analyzing various actuation principles, we decided to use piezoelectric bimorph as the primary actuator of our micropumps.

• 本文首先对各种驱动方式进行了分析，确定以压电双晶片作为主要的致动方式，并根据压电双晶片的悬臂梁模型，推导出压电双晶片的自由端位移公式。