Moreover, in order to solve this issue of NILC poly-Si film, we develop an effective gettering method to reduce the Ni-metal impurity contamination of the NILC poly-Si films.

• 此外，为了解决对于镍金属诱发复晶矽薄膜来说，非常重要的镍金属残留问题，因而发展出有效的吸气方法来降低镍金属诱发复晶矽薄膜中的镍金属残留。