It consists of temperature senor, data acquisition unit, data processing software and computer control system.We also analyzed the data of the experiment of ion implantation.

• 整个系统由测量靶和温度传感器、数据采集、计算机数据处理软件以及控制系统组成，实现计算机测量系统的计算机控制，并达到比较理想的测量结果。