In this thesis, we demonstrate thin silicon shadow masks used for vacuum thermal evaporation (VTE) for manufacturing compact-size OLED (organic light emitting diodes) displays.

• 摘要:本篇论文探讨矽材料热蒸镀遮罩在真空热蒸镀制程中使用的特性，并可在有机发光二极体显示器制造过程中使用。