In this paper, the fabrication of silicon nitride window for soft X-ray microscopy and its field application in National Syn-chrotron Radiation Laboratory of USTC were briefly discussed.
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本文主要介绍了用于软X射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺,给出在国家同步辐射实验室软X射线显微术实验站使用的实验结果。
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