Hence, we hope to find an appropriate transport strategy to reorder transport commands for RGV in an Area of TFT-LCD Array Fab to increase throughput.

 
  • 因此,本研究希望针对阵列制程工厂的单一特定区域,导入一适用于RGV特性的搬送策略来选择搬送命令,进而提升区域的产能。
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