H.-P., Cheng, R.-Y, Jou, F-Z, Chen, Y-W, Chang, Matsumi Iwane, and Takashi Hanaoka, 1999,
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周荣源,陈峰志,郑鸿斌,张郁雯,1998,"半导体制造设备用真空帮浦技术",机械月刊,第
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