Electron-Beam Recrystallization of RF Sputtering GaAs SOI and Thermal Recrystallization of MBE GaAs SOI by RF Induction Graphite Strip Heater

　
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  • 溅射GaAs SOI电子束退火再结晶及MBE GaAs SOI高频感应石墨棒热退火再结晶
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