9 A n AFM scann ing graph for the experim en t sam-p les that study the quas i-un id irectiona l etch ingeffect.

• 标题： 图9准单向蚀刻效应影响沟槽结构的蚀刻面形的原子力显微镜扫描图.；图(a)、图(c)和图(e)分别是图(b)、图(d)和图(f)的三维立体结构图 F ig