集成电路中金属连线下多晶硅电阻的不稳定性分析及抑制方法

　

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集成电路中金属连线下多晶硅电阻的不稳定性分析及抑制方法的英文翻译

基本释义

Resistivity Instability in Polysilicon Resistors Under Metal Interco-nnects and Its Suppression by Compensating Ion Implantation

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