铜团簇束在硅上碰撞沉积的薄膜形貌和方块电阻

　

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铜团簇束在硅上碰撞沉积的薄膜形貌和方块电阻的英文翻译

基本释义

The morphology and rectangular resistance of films formation by Cu cluster beam collided with and deposited onto Si substrate

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