重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

　

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重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法的英文翻译

基本释义

Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

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