要在晶片上做出小于100奈米的图案细节，所需的光蚀刻工具每件要花上几千万到几亿美元。

要在晶片上做出小于100奈米的图案细节，所需的光蚀刻工具每件要花上几千万到几亿美元。的英文翻译

基本释义

• The photolithographic tools that will be used to make chips with features well below 100 nanometers will each cost tens to hundreds of millions of dollars.