脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究

　

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脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究的英文翻译

基本释义

Tribological Characteristics of TiN and TiCN Hard Coatings Prepared by Pulsed D.C. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition

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