脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征
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脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征的英文翻译
基本释义
Equivalent Circuit and Quantitative Characterization of Plasma Load in Pulsed-Bias Arc Ion Plating
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