等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究

　

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等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究的英文翻译

基本释义

Atomic Force Microscopic Study of the Nanofriction Behavior of Fluorocarbon Films on Silicon Substrate Deposited by Inductively Coupled Plasma

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