特种化学气相沉积法制备大面积纳米硅薄膜的微结构和电学性能研究

　

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特种化学气相沉积法制备大面积纳米硅薄膜的微结构和电学性能研究的英文翻译

基本释义

Microstructures and Electrical Properties of Large-area Nanocrystalline Silicon Films Grown by Specially Designed Chemical Vapor Deposition System

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