氢化硅薄膜介观力学行为及其与微结构内禀关联特性

　

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氢化硅薄膜介观力学行为及其与微结构内禀关联特性的英文翻译

基本释义

Mesoscopic mechanical characterization of hydrogenated silicon thin film and the intrinsic relationship with the microstructure

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