步进扫描光刻机同步控制及硅片变形误差补偿技术研究

　

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步进扫描光刻机同步控制及硅片变形误差补偿技术研究的英文翻译

基本释义

Study on the Synchronizing Control and Wafer Deformation Error Compensation Technology for Step Scanning Photoetching Machine

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