本文简要地介绍了一种圆形电子束曝光机应用软件的结构、工作原理及工作过程；

本文简要地介绍了一种圆形电子束曝光机应用软件的结构、工作原理及工作过程；的英文翻译

基本释义

• The composition,principle and working procedure of the application software of EBES-40A electron beam Lithography system are introduced.