大面积热丝化学气相沉积系统衬底温度自回归模糊神经网络控制技术

　

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大面积热丝化学气相沉积系统衬底温度自回归模糊神经网络控制技术的英文翻译

基本释义

RECURRENT FUZZY-NEURAL NETWORK CONTROL ON THE SUBSTRATE TEMPERATURE OF THE LARGE-AREA HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM

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