关键词：微悬臂梁感测器、力学模型、压阻材料、有限元素法。

关键词：微悬臂梁感测器、力学模型、压阻材料、有限元素法。的英文翻译

基本释义

• Keywords: micro-cantilever sensor, mechanical model, piezo-resistive materials, finite element method.