介绍了独联体国家难熔金属氟化物化学气相沉积的工艺、设备及其产品的开发情况和研究进展。

介绍了独联体国家难熔金属氟化物化学气相沉积的工艺、设备及其产品的开发情况和研究进展。的英文翻译

基本释义

• This paper reviews fluorides CVD methods for refractory metals in CIS countries, including modern development of the equipment and products.